徐州防静电地板：无尘室中静电的危害-徐州市龙科商贸有限公司-www.jddb.cn

（1）静电库仑力

如果吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成品率和可靠性大大下降。

如粉尘粒径>100μm时，最易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

（2）静电放电ESD造成噪声、发射电磁波干扰

ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏的能量，频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声，可能引起元器件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。

ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。

如无尘室中，将晶园片的EMIF箱放在钢的手推车上，晶园片的ESD会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则EMI的扩散会引起园晶片处理机死机。